Détail Infomation

Fréquence d'opération:	2450MHz	De puissance de sortie:	0,1 \| 6 kilowatts sans interruption réglables
Stabilité de puissance:	meilleur que ±1% (@ statut évalué)	Interface de guide d'ondes de sortie:	BJ-26/22 avec la bride FD-26/22 standard
Puissance fournie:	380VAC/50Hz, 5 fil triphasé, 11kW	Écoulement d'eau de refroidissement:	18L/min
Coefficient d'onde stationnaire de système:	≤ 1,5 de VSWR	Fuite de micro-onde:	répondez aux normes nationales
Taille et mode fonctionnant:	Mode de Φ200 X 300 (h) TM
Mettre en évidence:	La machine de culture des diamants MPCVD , Une machine de culture de diamants professionnelle , La machine de culture de diamants à CVD

Description de produit

fabricant croissant laboratoire-élevé de machine de croissance de diamant d'équipement de la machine MPCVD de diamant d'équipement de diamant professionnel de CVD 0

Générateur et système de micro-onde	Fréquence d'opération	2450MHz
	De puissance de sortie	0,1 \| 6 kilowatts sans interruption réglables
	Stabilité de puissance	meilleur que ±1% (@ statut évalué)
	Interface de guide d'ondes de sortie	BJ-26/22 avec la bride FD-26/22 standard
	Puissance fournie	380VAC/50Hz, 5 fil triphasé, 11kW
	Écoulement d'eau de refroidissement	18L/min
	Coefficient d'onde stationnaire de système	≤ 1,5 de VSWR
	Fuite de micro-onde	répondez aux normes nationales
Chambre de décharge de vide de micro-onde	Taille et mode fonctionnant	Mode de Φ200 X 300 (h) TM
	Secteur efficace de dépôt	Φ50mm
	Chaîne de contrôle de la pression	0.5KPa~30KPa
	Exactitude de contrôle de la pression	±15Pa
Acquisition de vide	Croissance de monocristal	taux de croissance de 10-15μm/H, ≥ simple 1.6mm d'épaisseur de croissance
	Qualité de monocristal	presque aucun défauts sous l'oeil nu
Système de vide	Mode d'éruption	suffisance avec du N2
	Degré final de vide	un meilleur than8×10-4Pa
	Taux de fuite de vide	≤10-9pA.m3/s
	Hausse de pression	24 heures de hausse moyenne de pression est moins de than1Pa/H

Système d'écoulement de la masse de gaz	Exactitude	2%-100%F.S., inletpressureis0.2-0.3Mpa
	Type et chaîne de gaz	H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (10SCCM), N2 (20SCCM)
Système d'étape témoin	Diamètre d'étape témoin	Φ60mm, à refroidissement par eau ;
	Chaîne d'ajustement d'échantillon table	0~15mm
	Gamme d'ajustement de plat de cavité	0~60mm
Mesure de la température de substrat	mesure infrarouge de la température gamme	600~1200℃ (mesure infrarouge de la température)
	Précision de contrôle de température	contrôle de température precision±5℃ ;
	Chaîne de contrôle de secteur de la température constante	différence de la température de chaque point de molybdène platform≤30℃
Interface de dispositif	L'eau d'admission et de débouché	" Fil G1 externe
	Connexion de gaz	1/4" fil externe de magnétoscope
	Interface de décharge d'échappement	3/4" fil externe
	Ligne électrique	TB4506
Résistance d'isolation	≥5MΩ
Fiabilité	le temps de travail continu et stable dans des conditions normales ne sera pas moins que 24H
Alimentation d'énergie totale	380VAC±5%/50Hz, 3phase5wire, 13kW
L'eau de refroidissement totale	34L/min, l'eau molle propre, température de l'eau d'admission est 20℃±5℃ ; La pression d'eau est 0.2~0.4MPa
Dimensions	~1,95 (L) x0.8 (W) x1.90 (H) m

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Produit Tag:

Lieu d'origine:	La Chine
Nom de marque:	BAXIT
Certification:	CE
Numéro de modèle:	BXT-MPCVD

Quantité de commande min:	1 (Min. Order)
Prix:	USD149080- 150000Set\|1 Set/Sets(Min. Order)
Délai de livraison:	JOURS 5-8WORK
Conditions de paiement:	L/C, T/T, D/A, D/P
Capacité d'approvisionnement:	5

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