| Lieu d'origine: | La Chine |
|---|---|
| Nom de marque: | BAXIT |
| Certification: | CE |
| Numéro de modèle: | BXT-MPCVD |
| Quantité de commande min: | 1 (Min. Order) |
| Prix: | USD149080- 150000Set|1 Set/Sets(Min. Order) |
| Délai de livraison: | JOURS 5-8WORK |
| Conditions de paiement: | L/C, T/T, D/A, D/P |
| Capacité d'approvisionnement: | 5 |
| Fréquence d'opération: | 2450MHz | De puissance de sortie: | 0,1 | 6 kilowatts sans interruption réglables |
|---|---|---|---|
| Stabilité de puissance: | meilleur que ±1% (@ statut évalué) | Interface de guide d'ondes de sortie: | BJ-26/22 avec la bride FD-26/22 standard |
| Puissance fournie: | 380VAC/50Hz, 5 fil triphasé, 11kW | Écoulement d'eau de refroidissement: | 18L/min |
| Coefficient d'onde stationnaire de système: | ≤ 1,5 de VSWR | Fuite de micro-onde: | répondez aux normes nationales |
| Taille et mode fonctionnant: | Mode de Φ200 X 300 (h) TM |
| Générateur et système de micro-onde | Fréquence d'opération | 2450MHz |
| De puissance de sortie | 0,1 | 6 kilowatts sans interruption réglables | |
| Stabilité de puissance | meilleur que ±1% (@ statut évalué) | |
| Interface de guide d'ondes de sortie | BJ-26/22 avec la bride FD-26/22 standard | |
| Puissance fournie | 380VAC/50Hz, 5 fil triphasé, 11kW | |
| Écoulement d'eau de refroidissement | 18L/min | |
| Coefficient d'onde stationnaire de système | ≤ 1,5 de VSWR | |
| Fuite de micro-onde | répondez aux normes nationales | |
| Chambre de décharge de vide de micro-onde | Taille et mode fonctionnant | Mode de Φ200 X 300 (h) TM |
| Secteur efficace de dépôt | Φ50mm | |
| Chaîne de contrôle de la pression | 0.5KPa~30KPa | |
| Exactitude de contrôle de la pression | ±15Pa | |
| Acquisition de vide | Croissance de monocristal | taux de croissance de 10-15μm/H, ≥ simple 1.6mm d'épaisseur de croissance |
| Qualité de monocristal | presque aucun défauts sous l'oeil nu | |
| Système de vide | Mode d'éruption | suffisance avec du N2 |
| Degré final de vide | un meilleur than8×10-4Pa | |
| Taux de fuite de vide | ≤10-9pA.m3/s | |
| Hausse de pression | 24 heures de hausse moyenne de pression est moins de than1Pa/H |
| Système d'écoulement de la masse de gaz | Exactitude | 2%-100%F.S., inletpressureis0.2-0.3Mpa |
| Type et chaîne de gaz | H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (10SCCM), N2 (20SCCM) | |
| Système d'étape témoin | Diamètre d'étape témoin | Φ60mm, à refroidissement par eau ; |
| Chaîne d'ajustement d'échantillon table |
0~15mm | |
| Gamme d'ajustement de plat de cavité | 0~60mm | |
| Mesure de la température de substrat | mesure infrarouge de la température gamme |
600~1200℃ (mesure infrarouge de la température) |
| Précision de contrôle de température | contrôle de température precision±5℃ ; | |
| Chaîne de contrôle de secteur de la température constante | différence de la température de chaque point de molybdène platform≤30℃ | |
| Interface de dispositif | L'eau d'admission et de débouché | " Fil G1 externe |
| Connexion de gaz | 1/4" fil externe de magnétoscope | |
| Interface de décharge d'échappement | 3/4" fil externe | |
| Ligne électrique | TB4506 | |
| Résistance d'isolation | ≥5MΩ | |
| Fiabilité | le temps de travail continu et stable dans des conditions normales ne sera pas moins que 24H | |
| Alimentation d'énergie totale | 380VAC±5%/50Hz, 3phase5wire, 13kW | |
| L'eau de refroidissement totale | 34L/min, l'eau molle propre, température de l'eau d'admission est 20℃±5℃ ; La pression d'eau est 0.2~0.4MPa | |
| Dimensions | ~1,95 (L) x0.8 (W) x1.90 (H) m | |